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达因值判定结果a b

  • 2023-07-06 08:31:39
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2.在4000瓦和300毫托下产生15分钟的氧等离子体3.在4000瓦和250毫托下产生15分钟的氧等离子体4.泵室第二次降低到可达到的最低压力并记录数据。此值与第一个值进行比较。两个比较之间的显著减少表明当等离子机运行时清洁室已经失效。5.重复这个过程,达因笔的测试值直到从一个测试值到下一个测试值的最小基础压力没有明显的差异。注:使用CF4或类似气体会导致涂覆室及其部件与这些气体产生副产物。

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